一般用天然单晶金刚石刀具,刀刃圆弧半径小于0.1微米。在高精度车床上加工可获得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度,坐标精度可达±2微米。②精铣：用于加工形状复杂的铝或铍合金结构件。依靠机床的导轨和主轴的精度来获得较高的相互位置精度。使用经仔细研磨的金刚石刀头进行高速铣切可获得的镜面。
激光打标：
激光打标是通过激光打标机对工件进行打标加工的方法。激光打标加工可用于对零件进行标记、刻字等。根据零件的要求，可选择激光雕刻、激光打标等不同的打标方式。
后，良好的工艺控制也是提高零件精度的重要手段。包括工序控制、设备控制和操作控制等方面。在机械加工的每个环节中，科学合理的工艺控制可以有效地减小误差、降低零件加工精度的波动。例如，在进给控制中，采用闭环控制系统可以实现控制进给速度和位置精度；在切削过程中，采用自动刀具补偿系统可以及时调整刀具寿命，保证刀具切削性能和加工精度。因此，良好的工艺控制是实现零件精度高的关键。
设备的选择对于精密零件加工的效率和精度起着重要影响。首先需要根据加工零件的要求选择适合的设备类型，例如数控机床、自动化加工中心等。其次，要选择具有高精度、高刚性、高稳定性的设备，尽量避免设备因为自身性能问题而影响到加工质量。另外，设备的自动化程度也需要考虑，选择具有自动换刀、自动上下料等功能的设备，提高生产效率。此外，设备的维护保养也是至关重要的，定期检查维修设备，保持设备的良好状态，避免因设备故障而导致生产延误。